CURSO: ELIPSOMETRlA PARA LA CARACTERIZACION DE MATERIALES

DEPARTAMENTO: Programa de postgrado en Ciencias Físicas

PROPUESTA DE: Roberto Machorro, CCMC-UNAM, 30 septiembre, 1997

VIGENCIA: ?

REQUISISTOS: Propiedades Opticas de Sólidos, Electromagnetismo

OBJETIVO:

Aplicacion de la tecnica de elipsometría en la caracterización de materiales. Presentación de los fundamentos teóricos y prácticos del tema. Un aspecto fundamental es la sección experimental del curso.

CREDITOS: 6

HORAS DE TEORIA: 40

HORAS DE LAB: 8

TOTAL DE HORAS 48

TEMARIO

1.- POLARIZACION DE LA LUZ 6 Horas

Estados de polarizacion Parametros de Stokes

Vector de Jones

Estados ortogonales

2.- PROP AGACION DE LUZ POLARIZADA EN 10 Horas

SISTEMAS OPTICOS POLARIZANTES

Matriz de Jones. Casos especiales.

Dispositivos por reflexión

Función de transferencia de la polarización

Separación de informacion contenida en amplitud y fase

Valores propios

3.- MEDICION EN SISTEMAS ELIPSOMETRICOS 6 Horas

Sistemas ópticos con valores propios conocidos

Valores propios de un sistema en términos de pol-propias ortogonales lineales

4.- ELIPSOMETRlA EXPERIMENTAL 12 Horas

Elipsómetros nulos

Elipsómetros estáticos

Elipsómetros fotométricos

Elipsómetro dinámico Configuraciones

5.- INVERSION DE LAS Ec. ELIPSOMETRICAS 12 Horas

TEMARIO DEL LABORATORIO

Consta de 2 prácticas, los experimentos se realizarán en las instalaciones del CCMC (Lab. Propiedades Opticas).

1.- Depósito de una capa delgada sobre oblea de Silicio, empleando ablación láser.

A escoger: Alumina, SiOz, Au, Ag, AI, etc. .

Control del depósito por elipsómetría cinética

Caracterización con elipsómetría in-situ.

Análisis de resultados

2.- Depósito de multicapas usando cañón de electrones.

A escoger: antireflectora, divisor de haz, filtro pasa banda, etc.

Control del depósito por reflectometría y balanza de cuarzo

Caracterización con elipsometría ex-situ

Análisis de resultados

Texto

Ellipsometry and polarized light, RM.A. Azzam y N.M. Bashara, North Holland Pub!. 1987

Referencias

Bibliografia basada en articulos de Aspnes